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    JCMsuite應用:一維周期線柵
    時間:2023-04-03 16:29來源:訊技光電作者: 技術部點擊:打印
    這是一維周期線柵的簡單案例。周期單元包含通過光柵的二維截面。在這種情況下,線柵的橫截面呈梯形,它位于襯底上,被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
    光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當波長為193nm時,平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度。
    S偏振光照明的近場強度
    P偏振光照明的近場強度
     
    后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。
     
    參數掃描
     
    Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產生了以下圖表,顯示了反射和透射衍射級次的強度:
     
    在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定時,線柵的寬度從150nm增至250nm。這將產生以下線柵寬度依賴關系:
     
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