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    JCMsuite應用:孤立線柵
    時間:2023-03-27 20:31來源:訊技光電作者: 技術部點擊:打印
    這是一個一維孤立線光柵的簡單案例。設置與周期線光柵的案例相同,但代替周期性排列的線,現在使用單線。因此,二維計算域不再采用水平方向上的周期性邊界條件,而是采用水平和垂直方向上的透明邊界。
     
     
    光柵被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當波長為193nm時,平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度
     
    S偏振光照明的近場強度

    P偏振光照明的近場強度
     
    后處理傅里葉變換計算散射場在上半空間的傅里葉變換。
     
    在實驗中,遠場通常由成像的光學裝置來收集。后處理光學成像允許描述一個通用光學成像系統。我們通過一個沒有像差的簡單2X放大工具來演示這一點。
     
    PostProcess {
      OpticalImaging {
      InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm"
      OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm"
      OpticalSystem {
        SpotMagnification = 2.0
      }
    }
     
    輸出文件fourier_transform_image.jcm包含經過光學系統后的場的傅里葉變換?梢允褂玫芽栞敵龊筇幚韥碛嬎阆喔蓤D像。下圖顯示了不同z方向切片的圖像(圖像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。
     
    線光柵通過光學系統后的相干圖像(s偏振入射平面波)

    線光柵通過光學系統后的相干圖像(p偏振入射平面波)
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